化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
化學(xué)氣相沉積爐主要配置
爐門(mén)：絲杠升降//液壓升降/手動(dòng)升降；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊
爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC
加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統：體積/質(zhì)量流量計；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國產(chǎn)
真空泵和真空計---進(jìn)口/國產(chǎn)
PLC：歐姆龍/西門(mén)子
控溫儀表：日本島電/英國歐陸
熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀：無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國產(chǎn)
人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機
電器元件：正泰/施耐德/西門(mén)子
料車(chē)：滾道式/叉車(chē)式/疊加式超長(cháng)傳輸料車(chē)
本化學(xué)氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿(mǎn)足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；
本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
本化學(xué)氣相沉積爐對炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進(jìn)行有效處理。
