在高溫石墨化爐的石墨化熱處理期間，以化學(xué)方法除去制品內雜質(zhì)元素及其化合物，獲得高純石墨制品的過(guò)程稱(chēng)為高純石墨化。

    在普通石墨化溫度下，石墨材料中部分高沸點(diǎn)雜質(zhì)化合物難以氣化逸出，如碳化硼的沸點(diǎn)為3500℃，碳化釩的沸點(diǎn)為3900℃，鈦的沸點(diǎn)為3287℃，除去這些高沸點(diǎn)的雜質(zhì)是很困難的。但大多數的金屬鹵化物具有很低的熔點(diǎn)和沸點(diǎn)，因此，可以采取氟化或氯化化學(xué)反應將這些高沸點(diǎn)雜質(zhì)化合物轉化為易分解逸出的金屬鹵化物，從而可制備得到低雜質(zhì)含量的高純石墨材料。

    在石墨化時(shí)，向爐中通入氯氣或氟里昂作為純化氣體，其在高溫下分解為元素氟和氯，這些化學(xué)性活潑的鹵元素與石墨制品內的各種雜質(zhì)元素及其化合物發(fā)生反應，結合生成熔點(diǎn)和沸點(diǎn)都很低的鹵化物而氣化逸出。

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